[实用新型]一种基于光强传输方程的非干涉相位测量系统有效
申请号: | 202020179247.5 | 申请日: | 2020-02-18 |
公开(公告)号: | CN211453356U | 公开(公告)日: | 2020-09-08 |
发明(设计)人: | 邓定南;江泽标;郑兆聪 | 申请(专利权)人: | 嘉应学院 |
主分类号: | G01N21/41 | 分类号: | G01N21/41;G01J9/00 |
代理公司: | 广州海心联合专利代理事务所(普通合伙) 44295 | 代理人: | 罗振国 |
地址: | 514000 广*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | 本实用新型公开了一种基于光强传输方程的非干涉相位测量系统;属于光学相住测量技术领域;其技术要点包括安装架,所述安装架上设置有显微镜支架,在显微镜支架上通过升降机构活动连接有载物台;在载物台下方设置有与载物台通光孔相对应的非偏振分束镜;在显微镜支架侧边的安装架上设有朝向非偏振分束镜的LED光源,在LED光源与非偏振分束镜之间设置有第一光学4F系统;在显微镜支架上方的安装架上设置有与载物台通光孔相对应的相机,在相机与载物台通光孔之间设置有与第一光学4F系统相互垂直的第二光学4F系统;本实用新型旨在提供一种结构紧凑、成本较低且使用方便的基于光强传输方程的非干涉相位测量系统;用于相位测量。 | ||
搜索关键词: | 一种 基于 传输 方程 干涉 相位 测量 系统 | ||
【主权项】:
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