[实用新型]一种晶硅晶圆抛光用工装有效
| 申请号： | 202020197507.1 | 申请日： | 2020-02-21 |
| 公开（公告）号： | CN212265530U | 公开（公告）日： | 2021-01-01 |
| 发明（设计）人： | 高鹏程 | 申请（专利权）人： | 苏州市兆恒众力精密机械有限公司 |
| 主分类号： | B24B41/06 | 分类号： | B24B41/06 |
| 代理公司： | 苏州市指南针专利代理事务所(特殊普通合伙) 32268 | 代理人： | 金香云 |
| 地址： | 215000 江*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型提供的一种晶硅晶圆抛光用工装；包括支撑座、旋转台、板桥和锁紧装置；支撑座位于抛光机上，与抛光机工作台相配合；旋转台位于支撑座的一侧，与支撑座连接，在支撑座上自由转动；板桥位于旋转台的一侧，与旋转台固定连接，跟随旋转台转动；锁紧装置位于板桥上，与板桥相连接。本实用新型提供的一种晶硅晶圆抛光用工装，通过锁紧螺丝压紧锁紧滑块，使得锁紧滑块向下移动，两侧的固定块被推向外侧，挤压压紧块使得U型槽变形，从而夹紧晶圆，板桥的上下两侧均可以如此装夹，实现一个工装装夹多个产品，装夹完成后，板桥的旋转可以带来两侧的产品均被加工，提高装夹和加工效率。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 晶硅晶圆 抛光 用工 | ||
【主权项】：
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