[实用新型]用于控制32寸坩埚熔融机腔体压力的进排风控制系统有效
| 申请号： | 202020206214.5 | 申请日： | 2020-02-25 |
| 公开（公告）号： | CN211771654U | 公开（公告）日： | 2020-10-27 |
| 发明（设计）人： | 夏孝平;贺贤汉;徐淑文;曹豪杰;赖章田;刘海 | 申请（专利权）人： | 上海汉虹精密机械有限公司 |
| 主分类号： | C30B15/10 | 分类号： | C30B15/10;C30B15/20 |
| 代理公司： | 上海申浩律师事务所 31280 | 代理人： | 吕琳琳 |
| 地址： | 200444 上海市宝*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本实用新型提供用于控制32寸坩埚熔融机腔体压力的进排风控制系统，包括进风管路和排风管路，所述进风管路与坩埚熔融机腔体上部的进风孔连接，所述排风管路与坩埚熔融机腔体下部的排风孔连接；所述进风管路上安装有能够调节所在管路流量的第一气动高真空挡板阀和能够检测所在管路压力的第一压力检测装置；所述坩埚熔融机腔体上安装有能够检测坩埚熔融机腔体内部压力的第二压力检测装置；所述排风管路上安装有能够调节所在管路流量的第二气动高真空挡板阀和能够检测所在管路压力的第三压力检测装置；进、排风装置形成气流，可带出腔体内部粉尘杂质，降低腔内粉尘杂质对坩埚的污染。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 控制 32 坩埚 熔融 机腔体 压力 进排风 控制系统 | ||
【主权项】：
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