[实用新型]一种多功能纳米真空镀膜仪有效
| 申请号： | 202020211243.0 | 申请日： | 2020-02-25 |
| 公开（公告）号： | CN211689205U | 公开（公告）日： | 2020-10-16 |
| 发明（设计）人： | 王宁 | 申请（专利权）人： | 苏州泓沵达仪器科技有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/24 | 分类号： | C23C14/24;C23C14/54;B82Y30/00;B82Y40/00 |
| 代理公司： | 无锡市汇诚永信专利代理事务所(普通合伙) 32260 | 代理人： | 汪建华 |
| 地址： | 215000 江苏省苏州市*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种多功能纳米真空镀膜仪，包括蒸发源，所述蒸发源包括具有蒸发腔的柱形坩埚，所述柱形坩埚的顶部设有用于出料的开口，所述蒸发腔内用于放置待蒸发材料，所述柱形坩埚的内底面间隔设有多个第一环形凸起，所述柱形坩埚的外底面上与第一环形凸起对应的位置设有第一环形凹槽，且所述柱形坩埚为氮化硼坩埚。通过在柱形坩埚的底部的上表面间隔设有第一环形凸起，下表面间隔设有第一环形凹槽，在进行真空镀膜时，能增加蒸发材料与柱形坩埚底部的受热接触面积，以提高蒸发效率；且采用氮化硼坩埚，能满足有机材料和金属材料的蒸发条件。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 多功能 纳米 真空镀膜 | ||
【主权项】：
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