[实用新型]一种真空三维位移平台

摘要

本实用新型公开了一种真空三维位移平台，包括下法兰、X方向螺母座、Y方向螺母座和X向活动块，所述下法兰的上方设置有波纹管，且波纹管的外侧连接有Y向固定法兰，所述Y向固定法兰的上方连接有连接块，所述连接块的左侧设置有Y向固定块，且Y向固定块的正面安置有Y向活动块，所述Y向活动块的上侧安装有X方向固定块，且X方向固定块的X方向活动块，所述Z向轴承座的内侧表面镶嵌有Z向卡簧，且Z向轴承的上方设置有Z向第二螺母，所述Z向轴承的内侧设置有Z向调节丝杆，且Z向调节丝杆的顶侧末端固定有Z向手轮。设置有Z向轴承座与Z向固定块，能够让其加装在有需要位置调节需求的两个真空部件中间，且使其达到三维位移调节的功能。