[实用新型]单硅晶片生产用甩干装置有效
| 申请号： | 202020218832.1 | 申请日： | 2020-02-27 |
| 公开（公告）号： | CN212030032U | 公开（公告）日： | 2020-11-27 |
| 发明（设计）人： | 沈培琴 | 申请（专利权）人： | 浙江贝盛新材料科技有限公司 |
| 主分类号： | F26B5/08 | 分类号： | F26B5/08;F26B11/08;F26B25/16;F26B21/00;H01L21/67 |
| 代理公司： | 北京艾皮专利代理有限公司 11777 | 代理人： | 马小辉 |
| 地址： | 313000 浙江省*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了单硅晶片生产用甩干装置，包括甩干装置壳体、控制箱、旋转甩干机构、热吹风机构，所述甩干装置壳体右侧设置有所述控制箱，所述甩干装置壳体内部设置有所述旋转甩干机构，所述旋转甩干机构上部设置有所述热吹风机构。有益效果在于：通过所述甩干装置壳体实现装置的密封，提高甩干装置的密封性，通过所述旋转甩干机构和所述热吹风机构实现对单硅晶片的甩干，通过干燥的质量和干燥速度，保证干燥过程的清洁度。 | ||
| 搜索关键词： | 晶片 生产 用甩干 装置 | ||
【主权项】：
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