[实用新型]一种纳米真空镀膜仪有效
| 申请号： | 202020231911.6 | 申请日： | 2020-02-28 |
| 公开（公告）号： | CN211689211U | 公开（公告）日： | 2020-10-16 |
| 发明（设计）人： | 王宁 | 申请（专利权）人： | 苏州泓沵达仪器科技有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/24 | 分类号： | C23C14/24;C23C14/50 |
| 代理公司： | 无锡市汇诚永信专利代理事务所(普通合伙) 32260 | 代理人： | 汪建华 |
| 地址： | 215000 江苏省苏州市*** | 国省代码： | 江苏;32 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本实用新型公开一种纳米真空镀膜仪，包括真空镀膜仪本体，其包括蒸发源、蒸发坩埚以及真空镀膜室，蒸发坩埚位于真空镀膜室底部，所述真空镀膜室内设置有镀膜零件架，还包括电磁吸附装置，镀膜零件架包括第一架体和第二架体，第一架体和第二架体均包括装载盘以及固定在装载盘两侧的电动旋转杆，装载盘一侧固定有电磁吸附装置。本实用新型的优点在于：第一架体和第二架体的设置，由于其固定有现有的电磁吸附装置，可以对于需要镀膜的零件进行固定，且第一架体和第二架体可以配合吸附后旋转，完成对于待镀膜零件的翻面镀膜；滑轨的设置能够使得第一架体和第二架体之间能够分离，使得装载盘能够进行旋转，完成对于需要镀膜的零件的整体镀膜。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 纳米 真空镀膜 | ||
【主权项】：
暂无信息
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于苏州泓沵达仪器科技有限公司，未经苏州泓沵达仪器科技有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/202020231911.6/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：一种液晶显示装置
- 下一篇：用于洗衣机盖的开关及洗衣机
- 同类专利
- 专利分类
