[实用新型]基板制程用的框架有效

专利信息
申请号: 202020237707.5 申请日: 2020-03-02
公开(公告)号: CN211806223U 公开(公告)日: 2020-10-30
发明(设计)人: 周坤麟 申请(专利权)人: 叙丰企业股份有限公司
主分类号: B25J15/08 分类号: B25J15/08
代理公司: 北京国昊天诚知识产权代理有限公司 11315 代理人: 南霆;程爽
地址: 中国台*** 国省代码: 台湾;71
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摘要: 实用新型提供一种基板制程用的框架,其包括两个夹具,呈相对向设置;四个动力机构,夹具的两端分别设有动力机构,动力机构包括壳体、齿条、齿轮、弹性组件及驱动组件,齿条与齿轮相互啮合且设于壳体中,齿轮的一侧连接夹具的一端,弹性组件抵顶于齿条与壳体之间,驱动组件设于齿轮的另一侧或齿条,驱动组件露出壳体外;两个第一连杆,呈相对向设置,第一连杆的两端分别设有动力机构,第一连杆位于两个夹具之间。由此,本实用新型可作为基板的传输使用,且由动力机构驱动夹具,使夹具稳固夹持基板或释放基板,而达到便于传输基板至后续制程的功效。
搜索关键词: 基板制程用 框架
【主权项】:
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