[实用新型]立式氧化镓生长炉

摘要

本实用新型公开了一种立式氧化镓生长炉，包括上炉膛和下炉膛；其内贯穿设置有石英外管，外管内套接有通过水平连接板固定的内管，所述水平连接板上开设有透气孔，所述内管内设置有位于中部的搁板，所述搁板上放置有用于盛装镓催化剂的坩埚，内管的两端分别位于上炉膛的顶部开口处和下炉膛的中部；且石英内外管两端采用水冷式封堵结构，管内间隔设置有用于用于放置镓催化剂的坩埚和用于放置蓝宝石片的石英托盘，顶部设置有分别通向内外管的进气石英管，底部设置有出气管和抽真空管。本实用新型结构紧凑合理，操作方便快捷，可以轻松实现实验室小批量氧化镓的制作，有助于对新材料进行研究。