[实用新型]微型致动器有效

专利信息
申请号: 202020258665.3 申请日: 2020-03-05
公开(公告)号: CN211764261U 公开(公告)日: 2020-10-27
发明(设计)人: 胡兆斌;王贝;范加义 申请(专利权)人: 苏州英捷飞微机电有限公司
主分类号: B41J2/07 分类号: B41J2/07
代理公司: 南京利丰知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 32256 代理人: 赵世发
地址: 215000 江苏省苏州市*** 国省代码: 江苏;32
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摘要: 实用新型公开了一种微型致动器,其包括致动器主体,致动器主体内间隔设置有复数条导流槽,导流槽的两侧壁上沿导流槽的长度方向设置有驱动电极;盖板,盖板盖合于致动器主体的顶面并封堵复数个导流槽的上部开口,从而形成复数个致动器腔室;以及端板膜,端板膜上设置有复数个喷孔,每个喷孔均与导流槽的出口端连通,端板膜包括层叠设置的金属端板膜和绝缘材料膜层,绝缘材料膜层设置于金属端板膜与导流槽相对一侧的表面。本实用新型实施例提供的微型致动器,在金属端板膜靠近电极的一侧设置液体聚酰亚胺膜,改善了由于锆钛酸铅压电陶瓷形变而与端板膜之间粘结性变差的情况;并且液体聚酰亚胺膜能够防止电极与金属端板膜接触而短路。
搜索关键词: 微型 致动器
【主权项】:
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