[实用新型]PECVD射频电极通断切换系统及PECVD装置

摘要

本实用新型涉及化学气相沉积技术领域，具体公开了一种PECVD射频电极通断切换系统，该PECVD射频电极通断切换系统包括静触端、动触端和驱动件，动触端和静触端中的一个与射频电极片连接，另一个与馈入电极连接，动触端具有间隔设置的第一位置和第二位置，驱动件与动触端连接，以驱动动触端在第一位置和第二位置之间切换。当动触端位于第一位置时，动触端与静触端面接触，此时，射频电极片与馈入电极导通，由于动触端与静触端面接触，因而能够保证动触端和静触端具有较大的接触面积，保证接触良好；当动触端位于第二位置时，动触端与静触端分离，此时，射频电极片与馈入电极断开。