[实用新型]一种具有注入装置的双室真空室

摘要

本实用新型公开了一种具有注入装置的双室真空室，包括壳体，壳体呈方形且其上端盖设有盖板，壳体内设置有内壳，该内壳中开设有真空腔，盖板盖设于壳体上端时会对真空腔进行密封；在内壳外侧设置有一延伸出壳体外侧的注入装置，注入装置包括有固定在内壳外侧的基座，该基座内横向开设有具有注入口的行程孔，位于基座的壁内且将真空腔和行程孔相连通的注入通道，滑移设置在行程孔内的密封杆，该密封杆可密封或开放注入通道，位于行程孔内且被密封杆压缩的复位件，通过该复位件使密封杆始终具有密封注入通道的趋势，以及设置在行程孔内的限位挡块。本实用新型具有以下优点和效果：可方便从壳体外部注入气体至真空腔内，简化生产工序。