[实用新型]单晶炉防护底盘有效
| 申请号： | 202020290994.6 | 申请日： | 2020-03-10 |
| 公开（公告）号： | CN211848203U | 公开（公告）日： | 2020-11-03 |
| 发明（设计）人： | 马成;王忠保 | 申请（专利权）人： | 宁夏中欣晶圆半导体科技有限公司 |
| 主分类号： | C30B15/00 | 分类号： | C30B15/00 |
| 代理公司： | 宁夏合天律师事务所 64103 | 代理人： | 孙彦虎 |
| 地址： | 750021 宁夏回*** | 国省代码： | 宁夏;64 |
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| 摘要： | 一种单晶炉防护底盘，涉及单晶炉部件技术领域，位于单晶炉的底部，包括断热材、防漏盘，断热材与防漏盘可拆卸连接；断热材与防漏盘可拆卸连接，在断热材使用一段时间后能够将断热材直接拆下防漏盘进行更换，节约材料；断热材的结构设计使其能够插入连接孔与防漏盘连接，容易拆卸，更换方便。 | ||
| 搜索关键词： | 单晶炉 防护 底盘 | ||
【主权项】：
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