[实用新型]一种集成电路清洗用离子水电阻率检测装置有效
| 申请号： | 202020293552.7 | 申请日： | 2020-03-11 |
| 公开（公告）号： | CN211979050U | 公开（公告）日： | 2020-11-20 |
| 发明（设计）人： | 李应龙 | 申请（专利权）人： | 天水天光半导体有限责任公司 |
| 主分类号： | G01R27/22 | 分类号： | G01R27/22 |
| 代理公司： | 兰州锦知源专利代理事务所(普通合伙) 62204 | 代理人： | 勾昌羽 |
| 地址： | 741000 甘*** | 国省代码： | 甘肃;62 |
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| 摘要： | 本实用新型涉及一种集成电路生产用检测装置，具体涉及一种集成电路清洗用离子水电阻率检测装置。包括离子水排液管、检测竖管和液体介质电阻率检测仪，所述离子水排液管由依次连接的进液横管、排液竖管、排液横管组成，所述检测竖管两端分别与进液横管和排液横管的管身连通，所述检测竖管与排液横管的连通端设有阻水阀，所述液体介质电阻率检测仪的感应探头伸入检测竖管内。本实用新型在离子水排液管的管段上加装检测竖管，检测竖管对离子水进行收集并排出其内空气，最大化降低空气对离子水的影响，保证液体介质电阻率检测仪的电阻检测的准确性。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 集成电路 清洗 离子水 电阻率 检测 装置 | ||
【主权项】：
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