[实用新型]一种用于晶圆保持环铣槽加工的自定心夹具有效
| 申请号： | 202020297902.7 | 申请日： | 2020-03-11 |
| 公开（公告）号： | CN211759987U | 公开（公告）日： | 2020-10-27 |
| 发明（设计）人： | 姚力军;惠宏业;潘杰;王学泽;李力平 | 申请（专利权）人： | 上海江丰平芯电子科技有限公司 |
| 主分类号： | B23Q3/06 | 分类号： | B23Q3/06;B23C3/28 |
| 代理公司： | 北京远智汇知识产权代理有限公司 11659 | 代理人： | 王岩 |
| 地址： | 201400 上海市奉贤区*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本实用新型提供了一种用于晶圆保持环铣槽加工的自定心夹具，所述的自定心夹具包括带凹槽的夹具底座，夹具底座的凹槽内设置有夹具体，夹具体的顶部为内锥面，紧贴所述的夹具体外侧套设有弹性体，弹性体的顶部为外锥面，所述弹性体的外锥面与夹具体的内锥面相匹配；所述的夹具体底部设置有与弹簧套连接的驱动部件，所述驱动部件用于带动弹性体上下移动；所述的夹具底座上还设置有沿弹性体外周环设的定位件，晶圆保持环沿定位件外周放置，随着驱动部件带动弹性体下移，弹性体顶部的外锥面受到挤压推动定位件外扩，内撑卡紧晶圆保持环。本实用新型提供的自定心夹具主要用于晶圆保持环的铣槽加工过程，有效保持晶圆保持环在铣槽过程时的平面度。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 用于 保持 环铣槽 加工 定心 夹具 | ||
【主权项】：
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