[实用新型]一种平板颗粒度检测设备有效
| 申请号： | 202020301321.6 | 申请日： | 2020-03-12 |
| 公开（公告）号： | CN211718046U | 公开（公告）日： | 2020-10-20 |
| 发明（设计）人： | 申永强;杨晓青;韩雪山 | 申请（专利权）人： | 上海微电子装备(集团)股份有限公司 |
| 主分类号： | G01N15/02 | 分类号： | G01N15/02;G01N21/88 |
| 代理公司： | 北京品源专利代理有限公司 11332 | 代理人： | 孟金喆 |
| 地址： | 201203 上海市浦*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种平板颗粒度检测设备包括：光源单元，用于出射检测光束；匀光单元，至少包括微透镜阵列组，位于检测光束的传输路径上，检测光束经过匀光单元后，在匀光单元的焦面处形成泰伯点阵光束；入射至待测平板上的泰伯点阵光束，经待测平板中的异物散射形成待成像光束；待成像光束携带异物的粒度信息；泰伯点阵光束中相邻两束光束之间的间距小于异物的粒度尺寸；成像单元，用于收集待成像光束并根据待成像光束对待测平板中的异物进行检测。有利于确保照射到被检测异物的光，均为多个微透镜出射的光的叠加，进而有利于保证入射至待测平板的检测光束面均匀性以及角均匀性良好，其中，角均匀性可达90％，面均匀性可达95％。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 平板 颗粒 检测 设备 | ||
【主权项】：
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