[实用新型]一种共焦式准光学谐振腔的调准装置有效
| 申请号： | 202020313311.4 | 申请日： | 2020-03-13 |
| 公开（公告）号： | CN211878079U | 公开（公告）日： | 2020-11-06 |
| 发明（设计）人： | 宋锡滨;杨宏伟;奚洪亮;艾辽东 | 申请（专利权）人： | 山东国瓷功能材料股份有限公司 |
| 主分类号： | G01R27/26 | 分类号： | G01R27/26;G01N27/22 |
| 代理公司： | 北京智桥联合知识产权代理事务所(普通合伙) 11560 | 代理人： | 洪余节 |
| 地址： | 257091 山东*** | 国省代码： | 山东;37 |
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| 摘要： |
本实用新型公开了一种共焦式准光学谐振腔的调准装置，其在常规共焦式准光学谐振腔的腔体上增加了He‑Ne激光器和感光装置，通过感光装置接收He‑Ne激光器的光信号判断谐振腔腔体的位置，进而判断共焦式准光学谐振腔是否调准。通过调节谐振腔腔体位置，确定腔体参数和TEM |
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| 搜索关键词： | 一种 共焦式准 光学 谐振腔 调准 装置 | ||
【主权项】：
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