[实用新型]一种直写式曝光机有效
申请号: | 202020313589.1 | 申请日: | 2020-03-13 |
公开(公告)号: | CN211741829U | 公开(公告)日: | 2020-10-23 |
发明(设计)人: | 段艳霞;夏天;张雷 | 申请(专利权)人: | 苏州源卓光电科技有限公司 |
主分类号: | G03F7/20 | 分类号: | G03F7/20 |
代理公司: | 暂无信息 | 代理人: | 暂无信息 |
地址: | 215026 江苏省苏州*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | 本实用新型提供一种直写式曝光机,包括可移动的基板台面和标记装置,所述标记装置包括第一标记装置和第二标记装置,所述第一标记装置位于所述基板台面的至少一个边沿,所述第二标记装置位于所述基板台面的中心区域。通过第一打标装置和第二打标装置对在基板台面上放置内层板背面进行打标,在内层板背面留下多个标记,其与内层板正面的曝光图形确定稳定的位置关系并提供涨缩信息;其中第二打标装置可在PCB内层板中心区域内自由移动,获取最佳的打标位置,可提高对位精度和速度,更好的掌控图形的涨缩值。 | ||
搜索关键词: | 一种 直写式 曝光 | ||
【主权项】:
暂无信息
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