[实用新型]用于处理外延炉尾气的水洗管有效

专利信息
申请号: 202020323134.8 申请日: 2020-03-16
公开(公告)号: CN212017370U 公开(公告)日: 2020-11-27
发明(设计)人: 章瑜;张文 申请(专利权)人: 上海晶盟硅材料有限公司
主分类号: B01D53/78 分类号: B01D53/78;B01D53/18;B01D47/00
代理公司: 上海脱颖律师事务所 31259 代理人: 李强
地址: 201707 上海市*** 国省代码: 上海;31
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摘要: 实用新型涉及处理外延炉尾气设备,具体涉及一种用于处理外延炉尾气的水洗管,包括水洗段,在水洗段上具有一个或多个水洗进口,水洗机构自水洗进口向水洗段内输送水洗用的第一水流,水洗段上还具有一个或多个冲洗进口,冲洗机构自冲洗进口向水洗段内输送冲洗水洗管内沉淀物的第二水流。本实用新型水洗管的结构能够有效的避免在尾气处理中在水洗管内产生的大量沉淀,保证外延炉内的负压保持在良好的状态,有效的解决了水洗管的进气口被堵塞的情况。
搜索关键词: 用于 处理 外延 尾气 水洗
【主权项】:
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