[实用新型]一种排气取样装置及湿法清洗机有效
申请号: | 202020328502.8 | 申请日: | 2020-03-16 |
公开(公告)号: | CN211927419U | 公开(公告)日: | 2020-11-13 |
发明(设计)人: | 蒋峥勇 | 申请(专利权)人: | 上海华力微电子有限公司 |
主分类号: | G01N1/22 | 分类号: | G01N1/22;G01L19/12;H01L21/67;B08B9/032 |
代理公司: | 上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 31237 | 代理人: | 曹廷廷 |
地址: | 201315*** | 国省代码: | 上海;31 |
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摘要: | 本实用新型提供了一种排气取样装置及湿法清洗机,其中所述排气取样装置,包括取样管,所述取样管具有相对的取样端和排气端,所述取样端位于湿法清洗机的排气管内并对所述排气管内的排气进行取样,所述取样端包括呈一定夹角的第一管路和第二管路,所述第二管路的一端与所述排气端的一端连接,所述第二管路的另一端与所述第一管路的一端连接,所述第一管路的另一端朝向所述排气管内的排气方向。本实用新型通过将所述第一管路设置成朝向湿法清洗机的排气管内的排气方向以减少取样端的端口处酸性、碱性气体形成的结晶量,保证取样端对排气气体的取样顺畅,从而降低机台发出排气低报警的频率,增加机台运转时间,进而提高机台工作效率。 | ||
搜索关键词: | 一种 排气 取样 装置 湿法 清洗 | ||
【主权项】:
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