[实用新型]一种线性坩埚有效
| 申请号： | 202020331871.2 | 申请日： | 2020-03-17 |
| 公开（公告）号： | CN212247183U | 公开（公告）日： | 2020-12-29 |
| 发明（设计）人： | 杜青岛 | 申请（专利权）人： | 福建华佳彩有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/24 | 分类号： | C23C14/24;C23C14/12 |
| 代理公司： | 福州市博深专利事务所(普通合伙) 35214 | 代理人： | 颜丽蓉 |
| 地址： | 351100 福*** | 国省代码： | 福建;35 |
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| 摘要： | 本实用新型涉及蒸镀技术领域，特别涉及一种线性坩埚，通过在坩埚上盖设置一字形的喷射口，使得蒸镀材料在从坩埚本体蒸发出来的蒸汽分散的更加均匀，提高蒸镀的均匀性；通过将坩埚本体的侧壁向坩埚本体底部的中心倾斜，由于坩埚本体侧壁的倾斜设置，使得坩埚本体内腔的蒸镀材料在剩余量不多的情况下还能在坩埚本体底部均匀分布，从而提高线性坩埚蒸镀的均匀性；本方案设计的线性坩埚能够扩大坩埚的加料周期、提升材料利用率和节约材料成本。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 线性 坩埚 | ||
【主权项】：
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