[实用新型]一种尾气处理系统及镀膜设备

摘要

本实用新型属于镀膜技术领域，公开了一种尾气处理系统及镀膜设备。该尾气处理系统包括多级氟化氢过滤系统和单向通气组件，多级氟化氢过滤系统包括至少两个沿尾气流动方向串联连接的氟化氢过滤器，氟化氢过滤器用于吸附尾气中的氟化氢；通过设置多级氟化氢过滤系统提高了尾气净化效率；单向通气组件用于避免尾气进入室内环境并向处于负压状态下的排气管道中导入空气，以稀释尾气，被净化稀释后的尾气通过排气管道排放到大气中，通过设置单向通气组件省去了对新风管道的要求，降低了排气管道安装的复杂度，从而减小尾气处理系统的占用空间。该镀膜设备包括移动框架和上述尾气处理系统，尾气处理系统集成在移动框架上，方便搬运，占地空间小。