[实用新型]激光剥蚀平台载样装置有效
申请号: | 202020335361.2 | 申请日: | 2020-03-17 |
公开(公告)号: | CN211350574U | 公开(公告)日: | 2020-08-25 |
发明(设计)人: | 戴智慧;王敬富 | 申请(专利权)人: | 中国科学院地球化学研究所 |
主分类号: | H01J49/04 | 分类号: | H01J49/04;G01N27/64 |
代理公司: | 贵阳春秋知识产权代理事务所(普通合伙) 52109 | 代理人: | 杨云 |
地址: | 550081 贵州*** | 国省代码: | 贵州;52 |
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摘要: | 本实用新型公开了一种激光剥蚀平台载样装置,旨在提供一种分析精度好、效率高的剥蚀平台载样装置。包括由池体(7)和池盖(1)构成的样品池,通过移动机构安装在该样品池中的靶座;池盖上有剥蚀窗口(16),该剥蚀窗口侧壁上有载气出口(15),剥蚀窗口(16)由氟化钙玻璃片(14)密封;移动机构由安装在池体(7)中的两根轮轴(8)、固定在各轮轴(8)上的皮带轮(2)、环绕在两皮带轮(2)上的皮带(12)、驱动该皮带运动的一对锥齿轮构成;靶座由固定在皮带(12)上的样品舱(6)、位于该样品舱中的弹簧(5)、固定在样品舱(6)上的舱盖(4)构成。本实用新型可容纳多个标准样本,且能瞬时输出平滑信号。 | ||
搜索关键词: | 激光 剥蚀 平台 装置 | ||
【主权项】:
暂无信息
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