[实用新型]辅助单晶生长的摇摆装置及大尺度单晶生长摇摆炉系统有效

专利信息
申请号: 202020346017.3 申请日: 2020-03-18
公开(公告)号: CN211872141U 公开(公告)日: 2020-11-06
发明(设计)人: 李海峰;夏俊超;吴思;朱英浩;汤子康 申请(专利权)人: 澳门大学
主分类号: C30B9/12 分类号: C30B9/12
代理公司: 成都超凡明远知识产权代理有限公司 51258 代理人: 王晖;刘书芝
地址: 中国澳门*** 国省代码: 澳门;82
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摘要: 实用新型提供了辅助单晶生长的摇摆装置及大尺度单晶生长摇摆炉系统,涉及单晶生长装置技术领域。辅助单晶生长的摇摆装置,包括支撑架、横梁、电机和用于放置加热炉的摇摆笼;横梁的两端活动架设于支撑架之上,摇摆笼位于横梁的下方且与横梁固定连接,横梁的一端与电机的转动轴连接。大尺度单晶生长摇摆炉系统,包括加热炉和上述辅助单晶生长的摇摆装置,加热炉设置于摇摆笼内。本实用新型提供的摇摆装置和摇摆炉系统,其具体结构设计十分有利于大尺度单晶的生长,且生长单晶的成分均匀性有极大的提高。
搜索关键词: 辅助 生长 摇摆 装置 尺度 系统
【主权项】:
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