[实用新型]一种自动滴胶纳米压印设备有效
| 申请号： | 202020348494.3 | 申请日： | 2020-03-19 |
| 公开（公告）号： | CN211528907U | 公开（公告）日： | 2020-09-18 |
| 发明（设计）人： | 冀然 | 申请（专利权）人： | 青岛天仁微纳科技有限责任公司 |
| 主分类号： | G03F7/00 | 分类号： | G03F7/00 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 266000 山东省青岛市城阳区长城*** | 国省代码： | 山东;37 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种自动滴胶纳米压印设备，包括腔体，腔体的内腔通过升降装置固定连接有加热盘，加热盘的上表面固定装配有托盘，托盘内开设有第一真空槽，托盘通过第一真空槽真空吸附有基板，腔体的上侧壁通过连接架固定装配有承压板，承压板内开设有第二真空槽，安装架的上表面开设有滑槽，滑槽内滑动连接有自动滴胶装置。在腔体内设置有升降装置、加热盘、托盘、基板和承压板，通过升降装置、加热盘、托盘、基板和承压板完成纳米压印操作，在进行纳米压印的过程中，通过自动滴胶装置向基板的表面滴加光刻胶，从而不再需要使用到人工向基板的表面进行滴胶，大大提高压印的效率，降低了生产成本。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 自动 纳米 压印 设备 | ||
【主权项】：
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