[实用新型]温度检测装置有效
| 申请号： | 202020354598.5 | 申请日： | 2020-03-19 |
| 公开（公告）号： | CN211904476U | 公开（公告）日： | 2020-11-10 |
| 发明（设计）人： | 李在元;李周荣;郑炅哲;李俊弧;朴容国 | 申请（专利权）人： | 凯斯科技股份有限公司 |
| 主分类号： | G01K13/02 | 分类号： | G01K13/02;G01K1/14 |
| 代理公司： | 北京冠和权律师事务所 11399 | 代理人： | 朱健 |
| 地址： | 韩国京畿*** | 国省代码： | 暂无信息 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 公开一种温度检测装置。根据一个实施例的用于基板处理的处理液的温度检测装置可包括：温度测量传感器，其与所述处理液流动的管外面临接地设置，感知所述管内部处理液的温度。 | ||
| 搜索关键词： | 温度 检测 装置 | ||
【主权项】：
暂无信息
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于凯斯科技股份有限公司，未经凯斯科技股份有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/202020354598.5/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：一种测绘用无人机的防撞保护机构
- 下一篇：石膏线快速安装结构
