[实用新型]一种六氟化硫和氮气混气灌充的自循环混合均匀装置

摘要

本实用新型公开了一种六氟化硫和氮气混气灌充的自循环混合均匀装置，N2进气口后连接第一流量控制器，SF6进气口后连接第二流量控制器，第一流量控制器和第二流量控制器后部汇合后通过管线依次串联第三电磁阀、第一压缩机、第二电磁阀、缓冲罐、第五电磁阀、第二压缩机和出气口，出气口连接至外部气室。缓冲罐顶部另有出口分别连接压力传感器与第一电磁阀，第一电磁阀另一端连接混气比检测模块。缓冲罐后端使用三通连接第四电磁阀至第一压缩机前部，形成一个回路；混气比检测模块、压力传感器均与电路板电路连接并进行数据传输；第一电磁阀、第二电磁阀、第三电磁阀、第四电磁阀、第五电磁阀的开关与第一压缩机、第二压缩机的启停均由电路板控制。