[实用新型]一种氮化镓生产用生长杆输送装置有效

专利信息
申请号: 202020361641.0 申请日: 2020-03-20
公开(公告)号: CN211872148U 公开(公告)日: 2020-11-06
发明(设计)人: 石恒业;邵永亮;张保国;胡海啸;李仕蛟 申请(专利权)人: 山东科恒晶体材料科技有限公司
主分类号: C30B35/00 分类号: C30B35/00;C30B29/38
代理公司: 北京金宏来专利代理事务所(特殊普通合伙) 11641 代理人: 左海明
地址: 255100 山东省淄博市淄*** 国省代码: 山东;37
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摘要: 实用新型涉及一种氮化镓生产用生长杆输送装置,属于晶体新材料生产技术领域。所述生长杆输送装置包括对接盘和固定杆,对接盘中部开孔,其外侧连接有固定杆支撑装置,固定杆支撑装置包括支撑板和套管,套管连接于支撑板的顶端,套管的一端与对接盘连接,套管中固定有轴承,固定杆从对接盘的中部开孔插入到套管中,从轴承的内圈穿过并固定,一端从对接盘的中部开孔露出,另一端穿过轴承后连接有传动齿轮,传动齿轮连接有动力电机。本实用新型设计的生长杆输送装置由固定杆对氮化镓生产用的生长杆进行固定,将生长杆从卧式的氮化镓生长炉的端部插入到生长炉中,并通过对接盘与生长炉端部的法兰对接,生长杆在动力电机的带动下转动。
搜索关键词: 一种 氮化 生产 生长 输送 装置
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