[实用新型]一种紫外皮秒激光加工装置

摘要

本实用新型提供一种紫外皮秒激光加工装置，包括紫外皮秒激光器、可调平夹具、X‑Y移动平台以及依次布置在所述紫外皮秒激光器的输出光路上的第一反射镜、偏振器、第二反射镜、扩束镜、平顶光束整形器、第三反射镜、第四反射镜、合束镜、CCD镜头、孔径光阑和扫描振镜模组；所述可调平夹具包括底板、安装于底板上的纵截面为倒T形的支撑块以及安装于所述支撑块上的压紧块，所述底板固定安装于X‑Y移动平台上。本实用新型公开将扫描振镜模组和X‑Y移动平台相结合，突破了扫描振镜幅面限制，实现分割加工，拓展了材料的加工尺寸。扫描振镜的应用还可以实现超快的激光扫描速度和复杂的扫描路径，大大提高激光加工速度和加工柔性。