[实用新型]一种用于多晶硅片的脱胶机

摘要

本实用新型提供了一种用于多晶硅片的脱胶机，属于机械技术领域。它解决了现有自动化硅片脱胶机无法密封，在脱胶过程中会有酸气的溢出等技术问题。本用于多晶硅片的脱胶机，包括底座，底座上固定有脱胶水槽，所述脱胶水槽上部具有开口，其特征在于，在底座上还固定有安装支架，安装支架上连接有安装板，安装板上固定有气缸，气缸的活塞杆上固定有盖板，盖板能将所述开口密封住，气缸的活塞杆末端还固定有安装架，安装架通过安装结构设置有用于放置硅片的放置箱，所述脱胶水槽上开设有抽气孔，抽气孔与一抽气管密封连通，抽气管与一抽气泵相连通，脱胶水槽上还设置有用于搅拌的搅拌机构。本实用新型具有使用效果好的优点。