[实用新型]一种高真空环境控制压力的进气装置

摘要

本实用新型公开了一种高真空环境控制压力的进气装置。使得对深空探测和压力在102Pa量级以下的低气压试验可以的有效实施，该装置包括第一调节阀、一级压力调节腔、细微通道、微调阀以及二级压力调节腔；外部气体通过第一调节阀与所述一级压力调节腔连通；细微通道为N条，N≥1；细微通道的直径取值范围为0.01mm‑1mm；N条细微通道进口与所述一级压力调节腔连通，N条细微通道出口通过N个微调阀与所述二级压力调节腔连通；微调阀流量调节范围为0.5mL‑5mL；二级压力调节腔与外部待考核器件连通；所述一级压力调节腔、二级压力调节腔上均安装有真空规。