[实用新型]MEMS气体流量检测芯片以及智能气体流量仪表有效
| 申请号： | 202020385451.2 | 申请日： | 2020-03-24 |
| 公开（公告）号： | CN212275006U | 公开（公告）日： | 2021-01-01 |
| 发明（设计）人： | 肖素艳 | 申请（专利权）人： | 苏州敏芯微电子技术股份有限公司 |
| 主分类号： | G01F1/68 | 分类号： | G01F1/68;G01D21/02;B81B7/02 |
| 代理公司： | 北京品源专利代理有限公司 11332 | 代理人： | 孟金喆 |
| 地址： | 215002 江苏省苏州市苏州工业*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型实施例公开了一种MEMS气体流量检测芯片以及智能气体流量仪表，该MEMS气体流量检测芯片包括：基底；流量传感器以及至少一个环境参数传感器集成在所述基底的正面。本实用新型实施例提供的技术方案，实现了通过单颗芯片完成流量以及多种环境参数的测量。 | ||
| 搜索关键词： | mems 气体 流量 检测 芯片 以及 智能 流量仪表 | ||
【主权项】：
暂无信息
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