[实用新型]一种磁控溅射靶遮挡装置有效
| 申请号： | 202020387624.4 | 申请日： | 2020-03-24 |
| 公开（公告）号： | CN213624353U | 公开（公告）日： | 2021-07-06 |
| 发明（设计）人： | 李石豹 | 申请（专利权）人： | 遵化市洪晟霖翼钛金设备有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/35 | 分类号： | C23C14/35;C23C14/24 |
| 代理公司： | 北京化育知识产权代理有限公司 11833 | 代理人： | 尹均利 |
| 地址： | 064200 河北*** | 国省代码： | 河北;13 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种磁控溅射靶遮挡装置，包括反应腔、遮挡板、安装夹、传动杆和第二通道，所述反应腔内部的两侧皆设有遮挡板，所述反应腔的外侧壁上安装有制冷板，所述遮挡板外侧壁的两端皆设有散热环，所述遮挡板的内侧安装有缓存板，所述反应腔的顶端安装有旋转机构，所述遮挡板的底端安装有连接柱，所述反应腔内侧壁的两端安装有连接套管，所述反应腔底端的两侧皆设有升降机构，所述反应腔内侧壁的一端设有第一通道，所述反应腔的外侧壁上设有观察窗。本实用新型提高了蒸镀设备的维护效率，延长了遮挡板的使用寿命，而且降低了镀膜产品的不良率。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 磁控溅射 遮挡 装置 | ||
【主权项】：
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