[实用新型]ALD加热炉

摘要

本发明公开了一种ALD加热炉，包括筒状腔体，筒状腔体的两端设置分别设置前炉门和后炉门，筒状腔体内部设置有导流腔，在前炉门处设置进气组件，所述进气组件包括一个导流腔门、外层均流板以及内层均流板，内腔门上与外层匀流板对应位置有凹陷，形成一个圆形的薄进气室。内、外层匀流板之间通过螺栓、垫片分开一定间隔，前炉门关闭状态下，内、外层匀流板与内腔体侧壁又形成一个方形进气室。内、外层匀流板上等距分步大小相同圆形气孔，内层匀流板孔径略小于外层匀流板，以便气流分散通过。通过均匀进气系统向衬底或其他反应基底均匀输送前驱体，从而使反应物快速覆盖衬底或上一原子层，有效提高材料生长的均匀性，使前驱体绝大部分用于成膜。