[实用新型]一种半导体器件检测用四探针测试仪有效
申请号: | 202020392377.7 | 申请日: | 2020-03-25 |
公开(公告)号: | CN211905462U | 公开(公告)日: | 2020-11-10 |
发明(设计)人: | 卫静婷;陈利伟 | 申请(专利权)人: | 广东开放大学(广东理工职业学院) |
主分类号: | G01R1/073 | 分类号: | G01R1/073;G01R31/26 |
代理公司: | 深圳市鼎泰正和知识产权代理事务所(普通合伙) 44555 | 代理人: | 周小涛 |
地址: | 510030 广*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | 本实用新型公开了一种半导体器件检测用四探针测试仪,包括测试仪本体,所述测试仪本体上端中部固定连接有等距分布的减震弹簧,所述测试仪本体左右两侧上端均固定连接有卡块,所述测试仪本体上端活动连接有测试架底板,所述测试架底板上端固定连接有左右对称设置的垂直侧板,所述垂直侧板和另一垂直侧板间固定连接有顶板,所述顶板上开设有螺纹孔,所述螺纹孔内螺纹连接有丝杆,所述丝杆下端转动连接有固定座,所述固定座下端固定连接有安装座。该半导体器件检测用四探针测试仪,提高装置的稳定性,缩小装置占地面积,进一步提高测试仪本体与测试架底板间连接的牢固性,提高测试架底板的减震效果,有效提高安装座上下移动时的平稳性。 | ||
搜索关键词: | 一种 半导体器件 检测 探针 测试仪 | ||
【主权项】:
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