[实用新型]一种多晶硅废气处理装置及多晶硅废气深冷处理装置有效
| 申请号： | 202020394798.3 | 申请日： | 2020-03-25 |
| 公开（公告）号： | CN212757290U | 公开（公告）日： | 2021-03-23 |
| 发明（设计）人： | 袁野;刘品强;艾年君;钟国俊;李宏 | 申请（专利权）人： | 四川永祥多晶硅有限公司 |
| 主分类号： | B01D5/00 | 分类号： | B01D5/00;B01D53/18 |
| 代理公司： | 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 | 代理人： | 张东梅 |
| 地址： | 614800 四川省*** | 国省代码： | 四川;51 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本实用新型公开了一种多晶硅废气处理装置及多晶硅废气深冷处理装置，其中多晶硅废气深冷处理装置包括缓冲罐、一级换热器和二级换热器。本方案公开的多晶硅废气深冷处理装置延长了氯甲烷在一级换热器内的停留时间，提高了氯甲烷冷量的利用效率，同时将氯甲烷汇聚在一级换热器内，在压力变送器采集的缓冲罐的压力等于或者大于预设压力时，一级换热器的氯甲烷才会通过第一电控调压阀送入淋洗塔，通过淋洗塔对氯甲烷进行集中处理，提高了对氯甲烷的淋洗效果，而且减少了淋洗塔的淋洗次数，降低了氯甲烷的处理成本，也就降低了废气的处理成本。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 多晶 废气 处理 装置 冷处理 | ||
【主权项】：
暂无信息
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于四川永祥多晶硅有限公司，未经四川永祥多晶硅有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/202020394798.3/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：一种野外应急手动饮用水膜处理装置
- 下一篇：内开窗下侧结露积水槽结构
