[实用新型]用于制备石墨托盘CVD-SiC涂层的水平悬挂式旋转装置

摘要

本实用新型提供了一种用于制备石墨托盘CVD‑SiC涂层的水平悬挂式旋转装置，包括：旋转组件设置有一大支撑旋转轴，大支撑旋转轴底部设置有一突出轴，大支撑旋转轴通过突出轴穿设在一炉底，突出轴穿过炉底固定设置在一炉外承力装置内；承载组件设置有一大承重板和四根支架，大承重板固定设置在大支撑旋转轴的上端，支架竖直设置在所述大承重板上，支架上设置有多层承重板，承重板的中心均开设有中心孔，中心孔内均穿设有一挂钩，每个挂钩的下端均挂设有石墨托盘，本装置结构稳定、使用便捷，涂层制备均匀且纯度高，并且装炉率高，合格率高，生产效率高，能够满足各行业MOCVD外延用的SiC涂层的石墨托盘、舟皿、工装等产品的生产需要。