[实用新型]一种同时拉制多根硅芯的高频线圈有效
申请号: | 202020408737.8 | 申请日: | 2020-03-26 |
公开(公告)号: | CN212316284U | 公开(公告)日: | 2021-01-08 |
发明(设计)人: | 戚振华 | 申请(专利权)人: | 洛阳市自动化研究所有限公司 |
主分类号: | C30B28/10 | 分类号: | C30B28/10;C30B29/06 |
代理公司: | 暂无信息 | 代理人: | 暂无信息 |
地址: | 471000 河南省洛阳市高新*** | 国省代码: | 河南;41 |
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摘要: | 一种同时拉制多根硅芯的高频线圈,涉及高频线圈技术领域,本实用新型通过在高频线圈主体上设置多个拉制孔A,然后在冷却介质通道上设置冷却介质引流通道,将冷却介质向高频线圈中部引流,实现多根硅芯的同时拉制及降低高频线圈中部温度的目的,有效的提高了高频线圈的使用寿命,本实用新型具有结构简单,制造方便等特点,特别适合在多晶硅行业推广实施。 | ||
搜索关键词: | 一种 同时 拉制 多根硅芯 高频 线圈 | ||
【主权项】:
暂无信息
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