[实用新型]一种复合结构的超高灵敏度声表面波紫外传感器有效
| 申请号： | 202020412786.9 | 申请日： | 2020-03-27 |
| 公开（公告）号： | CN212206126U | 公开（公告）日： | 2020-12-22 |
| 发明（设计）人： | 周剑;殷长帅;颜凌波;段辉高;尹小波;陈哲 | 申请（专利权）人： | 湖南大学 |
| 主分类号： | G01D5/48 | 分类号： | G01D5/48 |
| 代理公司： | 深圳市兴科达知识产权代理有限公司 44260 | 代理人： | 王翀;阳江军 |
| 地址： | 410082 湖*** | 国省代码： | 湖南;43 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种复合结构的高灵敏度声表面波紫外传感器，传感器结构从下至上依次为：压电衬底；电极层(叉指换能器和反射栅)，ZnO纳米线/石墨烯量子点复合结构敏感层。相比于传统声表面波紫外传感器，复合结构的高灵敏度声表面波紫外传感器由于ZnO纳米线/石墨烯量子点复合结构在受到紫外辐射时电导率变化更大，使得声表面波的电声耦合作用增强，频率偏移增大，提高声表面波灵敏度。所述叉指换能器的波长为50nm～400μm，金属化率为0.1～0.9。本实用新型的有益效果如下：超高灵敏、易于检测以及工艺简单。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 复合 结构 超高 灵敏度 表面波 紫外 传感器 | ||
【主权项】：
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