[实用新型]一种电磁式微型变量隔膜真空泵

摘要

本实用新型公开了一种电磁式微型变量隔膜真空泵，包括电磁线圈总成、静铁芯、动铁芯、束磁环、弹簧、导套、膜片、膜片台、泵盖、外壳；所述导套、弹簧、动铁芯均安装于所述电磁线圈总成的中间通道内，电磁线圈总成的中间通道的一端装有静铁芯，另一端装有束磁环；电磁线圈总成、静铁芯、束磁环、膜片、膜片台均内置于圆筒状的外壳内，外壳的两端各安装有一个泵盖，每个泵盖上均设有一个进气孔和一个排气孔，进气孔和排气孔均只能进行单向通气；所述电磁线圈总成与PWM信号相连，通过PWM控制电磁力的交替以及在弹簧弹力的共同作用下，实现动铁芯以接近PWM信号的频率在静铁芯和束磁环之间轴向往复运动，从而带动膜片变形实现吸气和排气动作。