[实用新型]一种多晶铸锭坩埚喷涂台有效
| 申请号： | 202020417456.9 | 申请日： | 2020-03-27 |
| 公开（公告）号： | CN211887616U | 公开（公告）日： | 2020-11-10 |
| 发明（设计）人： | 王怡然;罗建明;关成 | 申请（专利权）人： | 包头晶澳太阳能科技有限公司 |
| 主分类号： | B05B16/20 | 分类号： | B05B16/20;B05B12/08;B05B12/02;C30B28/06;C30B29/06 |
| 代理公司： | 北京市万慧达律师事务所 11111 | 代理人： | 顾友 |
| 地址： | 014000 内蒙古自治区包*** | 国省代码： | 内蒙古;15 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种多晶铸锭坩埚喷涂台，涉及多晶硅技术领域。其喷涂台包括坩埚加热板和加热板垫片；所述坩埚加热板用于承托并加热石英坩埚，所述加热板垫片放置在所述坩埚加热板和石英坩埚之间，所述加热板垫片设置有孔洞，所述孔洞内部设置有照明装置。本实用新型提供一种多晶铸锭坩埚喷涂台，能够实时判断出坩埚涂层质量，及时调整喷涂工艺，改善涂层效果，提高喷涂效率，降低工作量。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 多晶 铸锭 坩埚 喷涂 | ||
【主权项】：
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