[实用新型]一种晶圆片清洗机有效
| 申请号： | 202020418686.7 | 申请日： | 2020-03-27 |
| 公开（公告）号： | CN212494080U | 公开（公告）日： | 2021-02-09 |
| 发明（设计）人： | 薛小宾 | 申请（专利权）人： | 深圳市赛平精密技术有限公司 |
| 主分类号： | B08B1/02 | 分类号： | B08B1/02;B08B1/00;B08B3/02;B08B3/08;B08B3/14;B08B13/00;F26B21/00;H01L21/67 |
| 代理公司： | 深圳市宏德雨知识产权代理事务所(普通合伙) 44526 | 代理人： | 李捷 |
| 地址： | 518000 广东省深圳市宝安区*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种晶圆片清洗机，包括机体，所述机体的四周设有正压防护板，所述机体内部位于正压防护板内侧设有防水隔板，所述机体的顶部设有出气孔，所述机体的顶部内壁等距固定有三个分隔气缸，所述分隔气缸的输出轴均固定有分隔板，且分隔板位于防水隔板围成的区域内侧，所述分隔板将防水隔板围成的区域从左向右依次分割成初级水洗室、清洗剂洗涤室、次级水洗室和烘干室，所述机体内部位于正压防护板和防水隔板之间对称固定有导轨，所述导轨上滑动连接有输送车，所述初级水洗室、清洗剂洗涤室和次级水洗室内均安装有刷洗装置，此晶圆片清洗机整个清洗过程自动化实现，不需要人工参与，清洗效果好，清洗效率比较高。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 晶圆片 清洗 | ||
【主权项】：
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