[实用新型]一种气帘结构及晶圆移送装置有效
| 申请号： | 202020426782.6 | 申请日： | 2020-03-27 |
| 公开（公告）号： | CN212190389U | 公开（公告）日： | 2020-12-22 |
| 发明（设计）人： | 权起大;朴大正;柳相元 | 申请（专利权）人： | 合肥欣奕华智能机器有限公司 |
| 主分类号： | B08B5/02 | 分类号： | B08B5/02;B08B13/00;H01L21/67;H01L21/677 |
| 代理公司： | 北京同达信恒知识产权代理有限公司 11291 | 代理人： | 王娜 |
| 地址： | 230013 安徽省合*** | 国省代码： | 安徽;34 |
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| 摘要： | 本实用新型涉及半导体领域，公开一种气帘结构及晶圆移送装置，包括：环形框架、进气组件、排气组件和控制箱；环形框架内侧环绕设置有多个与进气组件连通的喷嘴组，用于向穿过环形框架的工件喷射气体；环形框架内侧环绕设置有凹槽，凹槽内设置有多个与排气组件连通的排气孔；控制箱分别与进气组件和排气组件连接，用于控制喷嘴组和排气孔的过气量。本实用新型用于去除晶圆表面残留的工艺气体同时防止其他气体附着到晶圆表面，以抑制残留气体对晶圆甚至对装置架的损害。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 结构 移送 装置 | ||
【主权项】：
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