[实用新型]一种高拉速9吋单晶硅的新型导流筒有效

专利信息
申请号: 202020431176.3 申请日: 2020-03-30
公开(公告)号: CN212426237U 公开(公告)日: 2021-01-29
发明(设计)人: 段俊飞;王艺澄 申请(专利权)人: 包头美科硅能源有限公司
主分类号: C30B15/00 分类号: C30B15/00;C30B29/06
代理公司: 南京经纬专利商标代理有限公司 32200 代理人: 马严龙
地址: 014010 内蒙古自治区*** 国省代码: 内蒙古;15
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摘要: 实用新型公开了一种高拉速9吋单晶硅的新型导流筒,包括导流筒外导和导流筒内胆,导流筒外导和导流筒内胆之间为保温材质,导流筒内胆在轴向上为多层的环形阶梯结构,环形阶梯结构的内径从下至上逐渐增大,所述导流筒内胆内设有与导流筒内胆的环形阶梯结构相同的水冷热屏,水冷热屏的上部高于导流筒内胆。本实用新型大大提升单晶硅拉制时的拉速,从而减少拉制整根单晶硅棒的耗时。
搜索关键词: 一种 高拉速 单晶硅 新型 导流
【主权项】:
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