[实用新型]一种用于激光辅助放电EUV光源用的末级电极结构有效
| 申请号： | 202020440395.8 | 申请日： | 2020-03-31 |
| 公开（公告）号： | CN211404454U | 公开（公告）日： | 2020-09-01 |
| 发明（设计）人： | 徐强;崔金刚;李景奎 | 申请（专利权）人： | 东北林业大学 |
| 主分类号： | H01J61/04 | 分类号： | H01J61/04;G03F7/20 |
| 代理公司： | 北京化育知识产权代理有限公司 11833 | 代理人： | 尹均利 |
| 地址： | 150000 黑龙*** | 国省代码： | 黑龙江;23 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种用于激光辅助放电EUV光源用的末级电极结构，包括位于放电室的阳极、阴极与绝缘层，所述阳极的电极端采用圆锥形结构，所述阴极为圆柱体，其通过金属连接杆连有一个圆盘状的锡靶。所述阳极的电极端、放电室与锡靶均位于同一个水平面，激光通过聚焦系统照射在所述圆盘状锡靶的侧面中央位置，产生预电离等离子体。所述锡靶可沿其中心轴转动，从而保证激光每次打靶在图中的位置不变，但锡靶表面的相对位置改变，这就保证了每一次放电时锡靶表面状态的稳定性。所述阳极和锡靶之间的距离可调，从而保证放电时等离子体尺寸可以控制。本实用新型结构简单，操作方便，并且能保证光源工作的稳定性。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 用于 激光 辅助 放电 euv 光源 电极 结构 | ||
【主权项】：
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