[实用新型]一种夹持多个基板的溅射夹具有效
| 申请号： | 202020464843.8 | 申请日： | 2020-04-02 |
| 公开（公告）号： | CN211848125U | 公开（公告）日： | 2020-11-03 |
| 发明（设计）人： | 彭海 | 申请（专利权）人： | 无锡元核芯微电子有限责任公司 |
| 主分类号： | C23C14/50 | 分类号： | C23C14/50;C23C14/34 |
| 代理公司： | 连云港联创专利代理事务所(特殊普通合伙) 32330 | 代理人： | 刘刚 |
| 地址： | 214000 江苏省无锡市*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种夹持多个基板的溅射夹具，包括溅射炉、基板主体、腔体和夹头，所述溅射炉内部的顶端均匀固定有靶材原子轰击装置，所述溅射炉的下方设置有腔体，且腔体的内部均匀固定有凹槽，所述凹槽的内部均设置有转杆，且凹槽的一端固定有第二电机，所述支座内部的一端均设置有夹头，且夹头之间夹持有基板主体。本实用新型通过安装有溅射炉、靶材原子轰击装置、腔体、凹槽、夹头以及基板主体，溅射炉内部的顶端均匀固定有靶材原子轰击装置，靶材原子轰击装置的底部均设置有溅射口，溅射口下方的腔体中均匀通过夹头夹持有基板主体，基板主体与溅射口相垂直，便于直接接受到溅射出的金属离子，使得成膜速度较快，镀膜更加均匀。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 夹持 多个基板 溅射 夹具 | ||
【主权项】：
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