[实用新型]一种内置喷码组件的靶材溅射镀膜设备有效
| 申请号： | 202020475615.0 | 申请日： | 2020-04-03 |
| 公开（公告）号： | CN212375365U | 公开（公告）日： | 2021-01-19 |
| 发明（设计）人： | 杨海成;米县稳;李炎龙 | 申请（专利权）人： | 东莞耀捷镀膜科技有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/35 | 分类号： | C23C14/35;C23C14/04;C23C14/56;C23C14/52 |
| 代理公司： | 深圳市兴科达知识产权代理有限公司 44260 | 代理人： | 方玉叶 |
| 地址： | 523000 广东省东莞市*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本实用新型提供一种内置喷码组件的靶材溅射镀膜设备，属于磁控溅射技术领域，该内置喷码组件的靶材溅射镀膜设备包括一个密闭舱体，所述密闭舱体两侧外壁分别焊接有第一密封门和第二密封门，所述密闭舱体顶部内壁分别焊接有两个喷码组件，所述密闭舱体两侧外壁分别设有开口，所述密闭舱体两侧外壁开口处焊接有传送装置，所述传送装置分别设置于密闭舱体内部和两侧。本实用新型可以形成流水线作业，加快工作效率，同时可以对喷码装置进行相应设置，让喷码装置可以对基材进行不同形状的镀膜作业，当需要对喷码组件内部进行清理和更换靶材时，可通过打开顶盖来完成对喷码组件内部进行清理和更换靶材的工作。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 内置 组件 溅射 镀膜 设备 | ||
【主权项】：
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