[实用新型]一种用于制作阵列基板上隔垫物的半色调掩膜版

摘要

本实用新型公开了一种用于制作阵列基板上隔垫物的半色调掩膜版，所述阵列基板包括第一衬底基板、依次层叠设置在第一衬底基板上的薄膜晶体管阵列层和保护层，还包括通过半色调掩膜版形成的主隔垫物和辅隔垫物，所述主隔垫物和辅隔垫物对应形成在薄膜晶体管阵列层的上方，其中半色调掩膜版包括掩膜基板、设置在掩膜基板一侧的遮光层，所述遮光层包括全透孔和网格孔。实施本实用新型，利用网格孔阻挡光透过的量实现半透效果，可以节省现有技术中在半透区域先开全透孔再镀一层半透膜的工艺，有效节省了制作成本。