[实用新型]一种用于透镜缺陷检测的双倍率双远心光学系统

摘要

本实用新型公开了一种用于透镜缺陷检测的双倍率双远心光学系统。入射光线由物镜前组聚焦，再经分光棱镜折转后，得到两组独立光路，其中一路光线经第一物镜后组成像于第一垂直像面，另一路光线经第二物镜后组成像于第二垂直像面，得到不同的倍率。检测时可针对不同口径的待检透镜，选择合适倍率，提高划痕、麻点等透镜缺陷的检测效率，满足检测精度。光学系统在两组物镜后组中分别设置一非球面透镜，提高了成像质量，减小了系统总长。本实用新型提供的透镜缺陷检测的双倍率双远心光学系统，克服了现有技术中双远心系统筒长长、体积庞大、造价成本高的缺陷，同时克服了变倍率远心系统在高精度检测时存在的调节倍率误差的不足，具有广泛的应用前景。