[实用新型]一种硅片分选机用检测装置有效
| 申请号： | 202020486480.8 | 申请日： | 2020-04-03 |
| 公开（公告）号： | CN212328947U | 公开（公告）日： | 2021-01-12 |
| 发明（设计）人： | 季徐华;杨海波 | 申请（专利权）人： | 无锡森顿智能科技有限公司 |
| 主分类号： | B07C5/02 | 分类号： | B07C5/02;B07C5/34;B07C5/342;B07C5/36;H01L31/18 |
| 代理公司： | 无锡华源专利商标事务所(普通合伙) 32228 | 代理人： | 聂启新 |
| 地址： | 214000 江*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型涉及一种硅片分选机用检测装置，包括工作平台，其中部按线性排列依次安装前段动力输送带、中段动力输送带和后段动力输送带，其中，前段和中段首尾衔接，中段和后段之间存在间隔；横架于前段动力输送带上方安装暗箱一，位于中段和后段间隔内的工作平台上安装转盘机构，转盘机构侧边的工作平台上安装开口朝上的暗箱二；硅片由暗箱一内的相机进行正面检测后，被转盘机构上的吸盘吸起并转动至暗箱二上方进行背面检测，根据暗箱一和暗箱二检测的结果，若吸盘正面或背面外观不良则随转盘移动至废料盒处落下，否则移动至后段动力输送带处流向下一道工序；本实用新型实现了硅片正反面双面的自动化连续检测，节拍速度快，工作效率高。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 硅片 分选 检测 装置 | ||
【主权项】：
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